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校準氣體發生器PERMEATER，將這兩種管子保持在恒溫狀態，將空氣或是氮氣等稀釋氣體定量送入，就可以連續發生微量濃度的標準氣體。滲透（擴散）量是根據重量法所求得的滲透擴散速度和蒸發擴散速度以及稀釋氣體的流量等基礎物理量得到的，而氣體濃度則是根據此數據決定的，故這種發生方法具有很高的可信程度
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